关键词：微机电系统;谐振压力传感器;绝缘体上硅;微机械;谐振器;品质因数
摘 要：基于MEMS技术的硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,具有体积小、重量轻、功耗低、结构紧凑、准数字信号输出、温度响应快、抗冲击、抗干扰能力强、易于集成化和利于批量生产等众多优点。硅微机械谐振压力传感器非常适合于对精度和长期稳定性有着严格要求的航空航天、工业过程控制和其它精密测量场合,在军事和民用领域有着十分广泛的应用和巨大的市场。本文提出了一种常压封装的硅微机械谐振压力传感器,系统研究了硅微机械谐振压力传感器的基础理论、结构设计以及加工工艺等关键技术,并对制作的传感器样件进行了性能测试。论文的主要研究工作可概括如下:对谐振器受到的各种阻尼进行了深入研究,给出了...
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取