关键词：扫描电子显微镜;背散射电子像;能谱仪;Au-Ni复合催化剂
摘 要：扫描电子显微(配备能谱仪附件)技术作为表面微观分析的重要手段之一，可充分展现催化剂的表面形貌和微区成分，对催化剂的研制和开发具有重要意义。本文将背散射电子成像与X射线能谱仪结合，研究了Au-Ni复合催化剂的表面形貌及活性组分的分散状态，并详细探讨了图像清晰度与扫描速度、工作电压、工作距离等的关系。研究发现，在扫描速度10 s/frame、工作电压5 kV、工作距离4 mm条件下，采集背散射电子图像并结合能谱分析，可以获得充分展现催化剂性质的图像，为Au-Ni复合催化剂的催化活性机理研究提供重要的实验数据支撑。该研究提供了一种行之有效且快速方便的、纳米量级的分析准确度及分辨率的表征技术，有助于电镜相关人员更好地理解背散射现象的物理机制。
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