关键词：沉积技术;离子注入;固体润滑膜;硬质薄膜;界面结合力;机械产品;复合膜;表面强化;减摩;海洋环境;
摘 要：离子注入是一种可在较低温度下对高精度产品进行原位表面强化的近净加工技术,能显著提升产品的抗磨减摩、抗疲劳和耐腐蚀等性能。离子束复合沉积技术可实现基体与膜层、膜层与膜层之间的成分、应力等物理化学及机械性能的调制,进而获取界面结合力强、机械性能优异的复合膜。其应用于超低温、超高真空的固体润滑膜,风沙、海洋环境的抗冲蚀耐腐蚀硬质薄膜中表现出优异的综合性能。离子注入与离
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