关键词：低频振动;电子显微镜;被动式减震器;主动式减震器;减震沟
摘 要：20Hz以下的低频振动对电子显微镜的检测功能有很大干扰,需要采取各种减震手段降低低频振动的干扰。目前常用的减震方法中,如橡胶减震器、混凝土减震台、空气弹簧等等在20Hz以下的低频段效果很差,而采用主动减震装置可以有效抑制1Hz以上的振动,适合对低频段减震要求较高的场合。此外在某些特定条件下,减震沟对于低频振动的干扰也有较好的抑制效果。
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