关键词：离子液体；电沉积；硅
摘 要：研究了硅在SiCl4/TMAC-PC体系中的阴极沉积过程，分析了电解质体系的热稳定性和电导率，研究电流密度、温度等因素对沉积层表面形貌的影响。结果表明，SiCl4的加入使得TMAC-PC性增强，电解质的电导率随温度的升高而增大，在３１８Ｋ、ｃＳｉＣ ｌ ４ ＝０． ５ｍｏｌＬ、电流密度ｉ＝１５Ａ ｍ２、电沉积时间３ｈ条件下得到的沉积层致密，呈球形颗粒状。