关键词：化学机械研抛;固结磨料研抛地垫;编制曾;材料去除机理
摘 要：固结磨料化学机械磨料研抛K9材料取出的时候,其机械性能和化学作用是相互分离的,同时在处理的过程中对工件表面的硬度也会产生非常重大的影响。相关的研究已经显示研抛液能够和K9玻璃产生非常行明显的化学反应,同时能够起到保护的作用,在去除K9材料的时候是随着浸泡时间的增长而增长的,其去除的主要方式是脆性去除。主要分析了固结磨料化学机械研抛K9玻璃的材料去除机理,以供参考和借鉴。
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