关键词：锐钛矿TiO2薄膜;He离子辐照;电学性能;光学性能
摘 要：用多弧离子镀方法制备锐钛矿二氧化钛(TiO_2)薄膜,研究不同剂量与能量的He离子辐照对TiO_2薄膜结构与性能的影响。用X射线衍射仪(XRD)、激光拉曼光谱(RM)、场发射扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、四探针仪(FPPT)和紫外可见分光度仪(W)分别表征辐照前后TiO_2薄膜相结构、分子结构、结构形貌、电阻率及光反射率。结果表明:薄膜的相结构未发生明显转变;薄膜电阻率与结晶度发生变化;薄膜柱状结构逐渐消失;辐照剂量一定时,He离子能量越小,薄膜表面粗糙度与光反射率越大;能量一定,剂量越大导致薄膜光反射率越小。
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