关键词：气动测量;;差压式气动传感器;;微纳米级;;气动测微仪
摘 要：根据差压式气动测量原理,设计了一种微纳米级气动传感器,并通过硬件电路设计、软件系统开发研制了智能型非接触式气动测微仪。通过软件调零及误差补偿技术,达到了气动传感器非接触线性测量的目的。结果表明:气动传感器分辨力0.2μm,线性度2%,回程误差0.7%,灵敏度0.65 kPa/μm;仪器在0～80μm的测量范围内最大示值误差为0.3 m,回程误差为0.25μm.该智能型测微仪在一定程度上能应用在高精度微纳米检测场合中。
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