关键词：声表面波传感器阵列;;挥发性有机化合物(VOC);;声表面波振荡电路;;气喷
摘 要：研究了用于检测挥发性有机化合物(VOC)蒸汽的声表面波传感器阵列。阵列结构应紧凑布局,以缩短响应时间。开环检测声表面波振荡环路S21参数,以降低设计难度。使用参考环路以精确读取传感器的输出信号。使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜质量。该传感器阵列对VOC蒸汽具有较高的灵敏度和较强的分辨能力。
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