关键词：MEMS;F-P腔;可调谐滤波器;自由谱域;插入损耗;FWHM
摘 要：分析了基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器的基本结构和调谐原理,从理论和试验这个方面对可调谐滤波器的重要参数进行分析和测试。研究结果表明,基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器具有自由谱域宽(45 nm)、插入损耗低(3.55 dB)、带宽窄(半高全宽FWHM为0.32 nm)、回波损耗大(>50 dB)、响应速度快(2 ms)、电压驱动范围宽(0~40 V)、偏振相关损耗低(0.1 dB)和加压稳定性好等优点,特别是FWHM能满足光纤传感系统要求。通过对MEMS进行技术改进,基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器性能将有更大的上升空间,这种可调谐滤波器具有广阔的市场和应用前景。
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