关键词：薄膜；纳米硬度；弹性模量；摩擦系数；磨损
摘 要：采用磁控溅射法在Si基片上沉积非晶态Ta-C-N薄膜.利用纳米压痕仪表征其纳米硬度和弹性模量；摩擦磨损实验检测其摩擦学性能；光学轮廓仪和扫描电镜观察磨痕形貌.结果表明:Ta-C-N薄膜具有较高的纳米硬度9.45 GPa和弹性模量225.71 GPa,同时具有较低的摩擦系数0.238,磨损率5.94×10-6mm3 ·N-1·m-1,磨面较为平整光滑,体现了优越的摩擦磨损性能.