关键词：MEMS万向开关;;ICP;;加工工艺
摘 要：文中介绍了万向开关的工作原理,针对万向惯性开关的结构要求,利用ICP技术对设计结构进行加工,给出了详细加工工艺流程,并分析了工艺流程中的关键技术,并给出了加工和封装后的实物照片。
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