关键词：Si掺杂DLC;多层薄膜;Ni和WS2纳米颗粒;固液复合润滑;机械性能
摘 要：本论文主要通过离子束溅射的方法制备了Si掺杂的类金刚石(DLC)单层薄膜和不同亚层模量比以及不同亚层厚度比的多层薄膜,通过改变单层薄膜中Si掺杂含量以及多层薄膜的亚层模量比和亚层厚度比来研究其对薄膜微观结构和机械性能的影响。并且首次添加纳米颗粒Ni和WS2于PAO中与制得的掺Si的DLC单层膜和多层膜组成固液润滑系统,来研究不同的纳米颗粒润滑剂对此种固液润滑系统摩擦学性能的影响,探究其中润滑机理,系统总结规律。(1)采用离子束溅射的方法制备了一系列不同Si含量掺杂的DLC单层薄膜,结果显示,由于Si的掺杂取代C生成的C-Si键能小,大幅度的降低了薄膜的内应力。并且由于C-Si键结合能小于C-C...
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取