关键词：化学机械抛光;工艺原理;问题分析;发展趋势
摘 要：化学机械抛光技术诞生以来,极大地提高了产品表面的质量,使产品生产达到了一个新高度。随着化学学科的发展,更多化学药剂被发现和制造出来,给化学机械抛光技术带来了新的机遇。但同时也有一个最严峻的问题:快速发展的化学工艺及不断扩大的市场和相对垄断的技术手段之间的矛盾难以解决,这种化学机械抛光技术分布不平衡的局面影响了化学机械抛光技术的发展。此外,化学机械抛光工艺复杂、抛光液配置要求高、生产实践难度大,一系列问题的出现都给这一技术的应用和持续发展带来了挑战。
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