关键词：K9光学玻璃;湿式化学机械磨削;表面粗糙度;材料去除率
摘 要：K9光学玻璃的物理、化学性能稳定,尤其具有良好光学加工性能,因此被广泛应用于光学仪器、高档工艺品等多个领域。其表面精度直接影响到仪器的使用的性能。然而由于K9光学玻璃的硬脆特性,使得传统的加工方法极难获得高质量的光洁表面。本文为获取高表面精度的K9光学玻璃,研究了潮湿环境下的化学机械磨削(Chemical Mechanical Grinding, CMG)加工方法。本文首先研究了磨具的制作工艺,之后针对K9光学玻璃的材料特性进行了干式化学机械磨削试验。使用三维表面轮廓仪测取K9光学玻璃的表面粗糙度,通过精密电子天平称量,间接获得工件的材料去除率。然后在干式化学机械磨削的基础上采用超声雾化去离子...
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