关键词：XPS;镀锡板;面分析;步长
摘 要：XPS是一种表面纳米级深度的分析手段,研究钢铁材料XPS面分析可以为表面纳米级元素分布提供研究指导。通过XPS研究了不同步长对镀锡板表面面分析结果的影响。结果表明,随着步长降低,XPS面分析分辨率提高,元素含量结果更加准确。当步长为60μm时,XPS面分析可以清晰地展现出镀锡板表面元素的分布状况。继续降低步长,分析时间增加,元素含量结果变化不大。步长60μm是钢铁材料XPS面分析的最佳分析条件。
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