本报告导读：中微半导体是一家面向全球的微观加工高端设备公司，现已接受上市辅导。公司专注刻蚀和化学薄膜沉积类型设备的生产，未来将通过不断创新以及凭资本化平台克服挑战成为全球龙头半导体设备公司。

1. 中微半导体是领先的高端芯片装备企业，已辅导备案 ..................... 3

1.1. 2004 年成立于上海张江，分公司已遍布全球 ............................. 3

1.2. 快速成长，三大产品领域排名世界前三 ...................................... 4

1.3. 中微半导体已接受多轮融资 .......................................................... 5

1.4. 已接受上市辅导，为登陆资本市场做准备 .................................. 6

2. 刻蚀设备与MOCVD 设备行业国产设备逐步崛起 ............................ 7

2.1. 刻蚀设备市场持续增长，国产设备逐步崛起 .............................. 7

2.2. MOCVD：专利技术密集型产业，是生产LED 外延芯片的关键

设备 9

3. 刻蚀设备与MOCVD 设备均为世界前三，硅刻蚀设备（CCP）等设

备不断突破 ................................................................................................... 11

4. 对标AMAT，迈向自主知识产权平台型设备龙头公司 ................... 16

4.1. 对标AMAT，公司未来将克服挑战成为平台型公司 ................ 16

4.2. 公司注重研发与创新得到政府的支持，成功进入美国市场 .... 21

5. 投资建议 ............................................................................................... 22

6. 风险提示 ............................................................................................... 23