关键词：激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱法；线扫描；空间分辨率；单脉冲
摘 要：激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱( LA - ICP - MS)作为一项实用的技术被广泛应用于原位微区分析.在学者们更为关注的元素空间分布问题上,LA - ICP - MS线扫描较单点剥蚀具有更大的优势.线扫描过程中元素的空间分辨率是影响分析结果准确程度的因素之一.每个脉冲间的信号如果严重叠加会导致较低的空间分辨率.文章通过LA - ICP - MS的单脉冲剥蚀实验,研究了合成硅酸盐玻璃标准样品CGSG中不同元素的信号时间结构,及其对线扫描的空间分辨率的影响.结果表明,当激光束斑40 μm时,应用LA - ICP - MS进行线扫描测量空间分辨率能够满足线扫描技术分析的需求.