关键词：电镀铜;阳极袋;电场强度;可溶性磷;调节板;固定板;镀槽;极间;孔状;
摘 要：介绍了一种电镀铜装置。该装置由镀槽、可溶性磷铜阳极、阴极(基底)、阴极(基底)固定台和电场强度调节板等部件组成。可溶性磷铜阳极外套装网孔状阳极袋,阴极(基底)固定台用以夹持固定阴极(基底)。电场强度固定板安装于阳极与阴极(基底)之间,用以调节极间电场强度。
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