关键词：谐振器；ANSYS；微机电；动态电阻；品质因数；阵列
摘 要：设计了一种工作于 VHF 频段的新型微机电谐振器，采用了一种以阵列方式降低谐振器动态电阻的方法，通过 ANSYS 有限元分析软件对谐振器进行模态分析。结果表明，与减小换能电容间隙和增大偏置电压相比，采用的方法可以减小动态电阻，增大功率容量，谐振器阵列可以在保证谐振频率不变的情况下提高品质因数、减少损耗、降低动态电阻。设计的谐振器与谐振器阵列的工作频率为 123 MHz。
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