关键词：晶片；微管；缺陷统计；图像处理；阈值调节
摘 要：利用显微镜观察和统计晶体缺陷是一种常规的测试方法,但由于研发初期微管、孔洞等缺陷数通常较多且分布不均匀,统计起来非常费时费力。针对上述问题,介绍了一种利用MATLAB图像处理技术的硫化镉晶片微管检测计数的新方法。借助MATLAB图像处理工具箱,对微分干涉显微镜下的硫化镉晶片照片进行处理,编写晶片微管检测计数程序,统计评价区域内晶片的微管数,并且该程序具有手动调节阈值功能。研究结果证明,利用此方法统计的微管数准确度可达95%,借助图像处理技术检测统计微管数是一种高效、快速、准确的新方法,可实现检测、统计过程的自动化,是一种非常实用的技术。
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