关键词：ZnO;;VOC气体传感器;;溶胶凝胶法;;TiO2掺杂
摘 要：通过溶胶-凝胶法制备ZnO凝胶,在300℃预烧结。为了得到不同尺寸的ZnO粉体,并对ZnO粉体进一步纯化,将预烧粉体在不同温度,500℃、700℃、900℃下缓慢烧结,最后将所得粉体涂附在陶瓷管上,在450℃下烧结制备成气敏元件。测试所得的气敏元件对丙酮、乙醇、甲苯这些VOC气体的灵敏性。实验结果表明,500℃下烧结的粉体所作成的器件,对气体具有最大的灵敏度,其原因为随着烧结温度的增加,ZnO的颗粒变大,从而限制了固体与气体的反应面积。再以TiO2材料为掺杂剂,研究掺杂后元件的气敏特性。乙醇和甲苯的最佳工作电流得到了降低,这一现象,将有助于降低器件的工作温度,这也是目前研究ZnO气体传感器主要...
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取