关键词：杨树明;西安交通大学;光学干涉测量;微纳制造;中国计量测试学会;激光加工;光学器件;机械工程;
摘 要：激光核聚变装置、卫星用光学系统、大型天文望远镜、医疗影像设备等国家重大工程及国防尖端技术对高精度光学元件具有极大的需求,而光学元件表面质量的好坏则直接影响其长期稳定性、镀膜质量、使用寿命和激光损伤阈值等重要性能指标。光学干涉是表面质量检测最具潜力的方法之一,但是随着加工精度和效率的不断提高,光学干涉测量方法已经不能完全满足要求,亟须解决两方面的瓶颈问题:光学干涉测量容易受加工过程和环境噪声及振动等的影响;由于受衍射极限的限
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取