关键词：关 键 词: 氮化铝; 氧化钐; 氧化钇; 放电等离子烧结; 电性能
摘 要：摘 要: 以 AlN 粉末为原料, 添加稀土氧化物(Sm2O3、Y2O3), 在氮气气氛下, 采用 SPS 烧结方法制备 AlN 陶瓷, 研究稀土氧化物的掺杂对 AlN 烧结试样相组成、微观结构和电性能的影响。实验表明: Sm2O3、Y2O3与 Al2O3反应生成的液相稀土金属铝酸盐会提高 AlN 陶瓷致密度, 且在晶界处形成导电通路降低了 AlN 陶瓷电阻率。随着 Sm2O3掺杂量的增加, 晶界相逐渐由 Sm4Al2O9过渡到 SmAlO3, 且 Sm4Al2O9对电阻率贡献最大。其中, 3wt% Sm2O3掺杂AlN 陶瓷电阻率最低, 为 1.32×1010 ·cm, 相对密度为 99.3...
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