关键词：汽车灯具;;镀膜工艺;;真空系统;;控制方法
摘 要：车灯表面镀膜是汽车灯具制造流程中最重要的环节之一。论文结合国内外车灯相关标准和技术市场的分布情况,讨论了这一领域面临的理论研究和工业化应用存在的问题,针对高档汽车灯具复合镀膜工艺与装备的共性关键工艺技术展开相关研究工作。论文从高档车灯表面复合膜系结构及其功能需求出发,对几种PVD和CVD真空镀膜技术的工艺技术特点进行对比分析,提出了实现车灯复合镀膜的工艺技术路线;并对自主研发完成的大型车灯镀膜装备及其各部分组成系统进行了介绍。根据薄膜沉积均匀性分布理论和影响镀膜均匀性相关因素,从车灯镀膜蒸发源结构、有效镀膜区域、工件运动方式和真空室体均匀配气等方面,提出了改善薄膜沉积均匀性技术措施和实现方法;...