关键词：ZnO；禁带宽度；ZnO∶S薄膜
摘 要：采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上生长了ZnO∶S薄膜.XRD测试表明所制薄膜为六角纤锌矿结构,具有明显的(002)衍射峰.室温下的透射光谱测量结果表明,随着S掺入量的增加,ZnO∶S合金薄膜的吸收边向长波长方向移动,但在可见光部分有较高的透过率.在此基础上计算了各样品的禁带宽度,结果表明,在S掺入量小于8％的范围内,随着S掺入量的增加,禁带宽度减小.样品紫外光电导特性明显,在波长365nm、功率4000μW/cm2紫外光源照射下,紫外光与可见光所对应光电流响应之比可达3.