关键词：CVD；卤化法；高纯钛；正交试验
摘 要：采用正交试验研究了钛卤盐热裂解法生产高纯钛的工艺条件。结果表明，各因素对产率的影响程度依次为低温区（卤化源区）温度＞基底截面直径＞卤化剂用量＞高温区（热裂解区）温度。优化后的工艺参数为：卤化剂用量600g左右、基底截面直径6mm、低温区和高温区温度分别控制在200-700和1100-1300℃。在最优条件下获得的产品经电子束熔炼后，纯度可以达到99.998%。