关键词：机械振子;精密测量;耦合机械系统;裂结
摘 要：简谐振动是自然界中广泛存在的一个基本物理现象。教科书上最经典的例子就是机械系统的简谐振动。随着现代技术的发展,将机械振子的加工做到微米纳米尺度,这个尺度的机械振子具有的特点包括：高共振频率；品质因子Q通常在103-105范围,这个值是远远高于电子共振电路的。这些特点使得机械振子非常适合应用到各种技术,诸如传感器,致动器等。 当机械系统在微纳尺度的时候,相应的控制与探测工作也将在微观尺度展开。典型的成熟技术比如原子力显微镜与力探测磁共振显微镜,利用微机械系统通过原子间作用力与自旋梯度磁场力,分别实现了原子子尺度的成像与纳米尺度的成像。这些成像技术,展示了可以利用微观系统与机械振子的耦合的方...
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