关键词：氧化炉;供销合同;研制任务;商用化;中芯国际;力微;设备技术水平;工艺验证;产品系列化;自主知识产权;
摘 要：北京七星华创电子股份有限公司(简称"七星电子")与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸(1英寸=2.54 cm)立式氧化炉供销合同,用于其55 nm集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破,开始走向商用化。近年来,七星电子承担了12英寸立式氧化炉的研制任务。七星电子研发团队成功研制出完全自主知
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