原子层沉积氧化锌应用于铜铟镓硒太阳能电池缓冲层的研究
作者单位：廖荣,LIAO Rong(广东工业大学材料与能源学院,广州510090;华南理工大学电子与信息学院,广州510641)张海燕,ZHANG Haiyan(广东工业大学材料与能源学院,广州,510090)谢佳亮,杨铁铮,罗文中,胡伟,XIE Jialiang,YANG Tiezheng,LUO Wenzhong,HU Wei(华南理工大学电子与信息学院,广州,510641)
加工时间：2013-11-15
信息来源：材料导报
关键词：原子层沉积;氧化锌薄膜;铜铟镓硒太阳能电池;缓冲层;atomic layer deposition;zinc oxide thin film;copper indium gallium selenium solar battery;buffer layer
摘 要：用原子层沉积法在钠钙玻璃上沉积氧化锌薄膜,利用场发射扫描电镜和X射线衍射(XRD)等对样品表面形貌和物相进行分析,结果表明得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,颗粒的尺寸在30～60 nm之间；测得的ZnO薄膜厚度仅50 nm,符合缓冲层要求；薄膜在可见光区域透射率达90％以上；使用原子层沉积氧化锌薄膜作铜铟镓硒太阳能电池的缓冲层,TEM显示氧化锌层完好、致密地覆盖在CIGS层上,电池的光电转换效率较高,完全可以替代有毒的CdS作缓冲层.
027-87841330