关键词：射频磁控溅射；纳米银膜；涤纶织物；原子力显微镜；透光性能；导电性能
摘 要：以涤纶纺粘非织造布和平纹布为基底,高纯银为靶材,采用射频磁控溅射法制备纳米银薄膜,研究真空室氩气压强对纳米银膜表面形貌、样品透光性能和导电性能影响.结果表明:以涤纶纺粘非织造布为基底,氩气压强为0.3 Pa时,银膜表面粗糙度和颗粒尺寸最大,团聚生长最明显,压强为0.6 Pa时,银膜导电性能最佳；以涤纶平纹布为基底,氩气压强为0.6 Pa时,银膜表面粗糙度和颗粒尺寸最大,团聚生长最明显,压强为0.3 Pa时,银膜导电性能最佳；沉积纳米银膜的样品对紫外光有较强的吸收能力,氩气压强的变化对样品屏蔽紫外线效果不明显.