关键词：微谐振器;孔板;格子玻尔兹曼方法;动力学特性;吸合电压
摘 要：当静电驱动的微机械谐振器在液体环境中工作时,由于液体附加质量和粘性阻力的作用,谐振器的谐振频率和品质因子都显著下降,因此在实际应用中,常在谐振器上开孔以降低液体的影响。为了研究开孔情况对微谐振器动力学特性的影响,本文建立了孔板结构微机械谐振器在液体环境中的流固耦合动力学模型。其中,采用考虑液体作用力的静电驱动动力学控制方程描述谐振器的振动,采用格子玻尔兹曼方法(Lattice Boltzmann Method,LBM)分析孔板引起的复杂三维流场。在每一个时间步,根据动力学控制方程得到谐振器的位置和速度,并赋予LBM求解器作为边界条件;基于LBM方法求得流场参数,使用动量交换法(Momentum...
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取