关键词：ITO透明导电膜；湿法；表面粗糙度；导电性；透光性
摘 要：以聚乙烯基吡咯烷酮为分散剂制备了氧化铟锡(ITO)溶胶,通过涂布的方式将其制备成ITO透明导电膜,考察了不同热处理温度及表面粗糙度对ITO薄膜性能的影响。结果表明:ITO溶胶颗粒粒度分布较窄,分散性好;随着热处理温度的升高,ITO薄膜的导电性和透光性均逐渐增强;相同热处理温度下,薄膜表面粗糙度越低越有利于获得低电阻率、高透光率的ITO薄膜。
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