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一种新的大平面平面度测量方法

作者：方波；邹鲲；孟晶；顾颖佳；毛剑锋作者单位：东华大学机械工程学院,上海201620 加工时间：2014-02-15 信息来源：《机床与液压》

关键词：大平面；平面度测量；液面；误差分离
摘要：针对大平面度测量,设计一种新的平面度测量系统,该系统摒弃了高精度大平面度测量所需要的高精度导轨、高精度光学平面等,而是以液面作为一个平面基准,用干涉仪标定出测量系统的系统误差,然后用接触式传感器测量被测件,再进行误差分离,将系统误差从测量误差中分离出去,从而达到对大平面度的高精度测量.

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