关键词：电子探针；状态分析；面分析；电子背散射衍射；硅钢；氧化铁皮；显微结构
摘 要：利用电子探针面分析、状态分析及电子背散射衍射相分析技术研究硅钢高温氧化铁皮的显微结构。电子探针面分析可以直观的看出元素的分布状态,初步判断氧化铁皮的结构,而状态分析可以准确表征常规氧化铁皮中铁元素的状态,对于合金元素富集区域则通过电子背散射衍射相分析技术来标定。结果表明,高温氧化铁皮的结构主要有4层,即最外层为厚度约为10μm的Fe2O3相,次外层为Fe3O4相,中间层为FeO相上分布有颗粒状的Fe3O4相,最内层为FeO相和Si元素富集的Fe2SiO4相。其中Fe2SiO4层的分布特征与加热温度密切相关:1 100℃时,Fe2SiO4相呈颗粒状,弥散分布在FeO层;1 200℃时,Fe2SiO4相呈液态,侵入基体和疏松的FeO层,且沿着FeO晶界呈网状分布。