关键词：半导体设备;技术委员会;标准化工作;学术交流;光刻技术;技术组织;标准制定工作;行业标准;技术标准化;微纳米;
摘 要：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会是在中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会领导下,在全国半导体设备和材料技术领域从事微光刻标准化工作的组织。全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203,National Standardization Technical Committee for Semiconductor Equipment and Materials)
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