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中频磁控溅射制备非晶硅薄膜的工艺研究及表征

作者：林杨欢；李明华；沈辉作者单位：中山大学太阳能系统研究所,广州510006 加工时间：2014-02-15 信息来源：《太阳能学报》

关键词：正交实验法；非晶硅；中频磁控溅射；太阳电池
摘要：使用中频磁控溅射方法进行正交实验,在Si基底上沉积非晶硅薄膜.利用n

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