溶胶-凝胶法制备Y掺杂ZnO薄膜及其光电性能研究
作者：阳生红；王旭升；汤健；张曰理
作者单位：中山大学物理科学与工程技术学院光电材料与技术国家重点实验室,广州510275;中山大学物理科学与工程技术学院光电材料与技术国家重点实验室,广州510275;山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100
加工时间：2014-02-15
信息来源：《材料导报》
关键词：Y掺杂；ZnO透明导电薄膜；溶胶-凝胶法
摘 要：采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了不同掺Y浓度的ZnO透明导电薄膜.X射线衍射(XRD)表明,所制备的Y掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向.随着Y掺杂浓度的升高,(002)峰向低角度方向移动.UV透射曲线表明,薄膜在可见光区(400～800nm)的平均透过率超过85％,具有明显的紫外吸收边,通过改变Y的掺入浓度,可以使吸收边向短波方向移动,从而使薄膜的禁带宽度可调.制备的Y掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为3.68×102Ω·cm.
027-87841330