关键词：石墨烯；迁移率；PMMA；NaOH
摘 要：在CVD石墨烯的转移过程中无法避免会出现胶残留,导致了材料不必要的p型掺杂。研究表明,通常来自这种残余胶的p型掺杂影响了石墨烯的电学特性。本文发现NaOH溶液能够有效地去除这种PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯(C5H8O2)x)中的含氧官能团,减少胶残留,并首次将其运用在CVD生长的石墨烯单层薄膜上。通过不同浓度NaOH溶液的选择,我们有效地解决了NaOH与SiO2/Si衬底反应的问题。处理结果显示,通过NaOH溶液浸泡石墨烯的载流子浓度变为原来的三分之一甚至更少,而且处理效果最明显的石墨烯样品的迁移率从880cm2/Vs升高到2260cm2/Vs。同时我们比较了水和NaOH处理效果的稳定性,结果显...
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