关键词：结温度；可调谐二极管激光吸收光谱；动态测量
摘 要：半导体激光器结温度的测量对于其温度控制和特性研究非常重要.基于对激光器的结构和热电等效模型的研究,建立半导体激光器组件中激光器芯片和热敏电阻的数学模型,利用热敏电阻实时监测激光器在热动态过程中的结温度.以气体吸收谱线的波长验证了模型的正确性,实现激光器结温度预测不确定度约为0.01 K.还利用此方法测量了电流调谐过程中动态结温度,在一个锯齿电流扫描周期内结温度变化量为0.044 K.基于热敏电阻预测激光器结温度无需附加额外测量装置,其精度不受环境温度和TEC电流的影响,适合于原位、在线激光系统,也可应用于激光器组件热学性能的研究.