关键词：Ti(Cr)SiC(O)N涂层;含氧涂层;TiSiCN/DLC涂层;高温热处理;机械性能
摘 要：钛合金具有比强度高、耐腐蚀性能优异等特点,在航空航天等领域有着广泛的应用。但由于钛合金高温化学活性大、导热系数小及弹性模量低等原因,在钛合金的加工过程中,刀具容易产生粘着、切削温度高等问题而导致刀具磨损严重。为了提高刀具的切削性能,对硬质合金进行了表面改性。本文以等离子体增强磁控溅射制备的TiSiCN、TiSiCON、TiCrSiCN、TiCrSiCON、CrSiCN和CrSiCON六种涂层为研究对象,寻找钛合金切削的刀具涂层。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、超显微硬度测试、压痕、划痕以及摩擦磨损试验等方法研究了涂层的结构及机械性能,分析了氧元素对涂层...
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