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超光滑表面非接触定量测量研究

作者：杨险峰；伍小燕作者单位：九江学院机械与材料学院,江西九江332005 加工时间：2014-05-15 信息来源：《机床与液压》

关键词：定量测量；Wiener滤波；电信号处理
摘要：通过把光强信息转化为相位信息来分析表面高度与相位之间的关系,利用Wiener滤波消除噪声并恢复信号,从而建立了一种有效的非接触式定量测量模型.采用电信号处理系统提高了测量的效率和精度.

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