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超临界CO2环境中沉积薄膜材料的研究进展

作者：赵斌；杨俊和；赵明涛；张艳飞作者单位：上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;上海理工大学能源与动力工程学院,上海200093 加工时间：2013-12-15 信息来源：《材料导报》

关键词：超临界流体；沉积；二氧化碳；薄膜
摘要：介绍了超临界流体沉积技术的基本原理及其沉积过程中的影响因素,综述了国内外关于超临界流体沉积技术制备金属、合金及氧化物薄膜材料的研究进展,并展望了今后的研究趋势.

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