关键词：磁控溅射;;Cu薄膜;;Cu/CuO复合薄膜;;屏蔽效能
摘 要：采用磁控溅射法在纺织基材表面沉积了Cu薄膜和Cu/CuO复合薄膜。在相同镀膜时间下对单面Cu薄膜和双面Cu薄膜屏蔽材料的屏蔽效能进行了测试与分析;并对双面Cu薄膜和Cu/CuO复合薄膜屏蔽材料的抗氧化性能进行了对比测试。结果表明:双面Cu薄膜屏蔽材料的屏蔽效能高于单面Cu薄膜屏蔽材料;将双面Cu薄膜屏蔽材料和Cu/CuO复合薄膜屏蔽材料放置在相同室温环境中120d,双面Cu薄膜屏蔽材料发生了严重的氧化;Cu/CuO复合薄膜屏蔽材料虽然出现部分氧化,但整体性能完好,表现出较好的抗氧化效果。
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