关键词：薄膜；b-FeSi2/Si薄膜；Er3+；光致发光
摘 要：为了增强b-Fe Si2薄膜的发光强度,通过脉冲激光轰击(PLD)b-Fe Si2和Si靶材沉积于Si(1 1 1)面制备了优质的b-Fe Si2/Si薄膜,薄膜表面光滑、平整,b-Fe Si2颗粒尺寸在20~50 nm左右。光致发光(PL)测试显示,b-Fe Si2/Si薄膜在低温下(20 K)在1540 nm左右的近红外处有一较强发光峰,对应b-Fe Si2带-带跃迁。对Si层进行掺杂Er3+处理,发现处理后的b-Fe Si2/Si∶Er薄膜发光强度得到明显地增强,掺入Er使b-Fe Si2/Si薄膜非辐射复合中心得到有效地抑制,且b-Fe Si2/Si:Er薄膜的红外发光来自Er3+离子...
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