关键词：关 键 词: RuO2复合薄膜; 分步电沉积; 热处理; MEMS 超级电容器
摘 要：摘 要: 为了解决氧化钌(RuO2)沉积电位过高, 难以在三维微结构金属集流体上直接沉积的问题, 提出采用分步电沉积方法在微三维结构镍(Ni)集流体上制备 RuO2复合膜电极, 即先在三维微结构 Ni 集流体上沉积聚吡咯/氧化石墨烯(PPy/GO)薄膜作为基底, 经热处理后, 在基底上二次沉积出RuO2颗粒, 最后再对RuO2复合薄膜进行二次热处理。扫描电子显微镜(SEM)观察显示, 随着热处理温度的升高, 薄膜表面多孔结构增多, 达到了提高膜电极结构孔隙分布的目的。能量分散谱(EDS)和 X 射线光电子能谱分析(XPS)表明, 薄膜中无定形 RuO2·xH2O 的存在保证了膜电极的大比容量。...
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