关键词：三维;;光学零件;;自动检测
摘 要：光学面形检测是光学零件加工过程中的必要环节。传统方法利用光学样板进行人工样板检测,不能量化且易损伤光学零件。利用平面干涉仪或球面干涉仪检测所需设备成本较高且调校较复杂。在传统迈克尔逊干涉仪平台基础上进行改进,设计三维机械模型。该装置成本低,具备一定精度量化测量功能,自动化程度较高,在光学零件加工行业具有一定的实践价值。
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