关键词：化学机械抛光;抛光液;纳米力学;铌酸锂;表面粗糙度
摘 要：铌酸锂晶体(LiNbO3,LN)具有优异的电光、声光、压电等特性,居里温度是1210℃,自发极化大。LN晶体能够在高温和化学腐蚀情况下保持稳定的理化性能,并且价格低廉,易于生长大直径单晶体,在光波导、光通讯调制器、倍频转换、声表面滤波器、光学集成等方面应用广泛,享有“光学硅”的美誉。随着光电子技术及非线性光学器件的快速发展,要求LN晶片加工后的表面超光滑、无游离磨料嵌入、无划痕。LN晶体硬度较低,脆性较大,属于软脆晶体,采用研磨、机械抛光等传统的加工方法容易造成游离磨料嵌入、划痕、裂纹及破碎等缺陷,并且加工效率较低。我国在LN晶体超精密加工领域落后于美、日等发达国家。本文通过纳米压痕技术研究了...
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