关键词：化学机械抛光;Roll-to-Roll式抛光机;柔性显示衬底;304不锈钢带
摘 要：304不锈钢带作为本文的研究对象,是目前柔性显示衬底中选用最多的材料,而柔性显示正成为下一代显示器的最具应用前景的技术,是未来显示器发展的潮流。因此在可预见的未来,强劲需求的柔性显示衬底市场必将促使304不锈钢占据着柔性衬底材料的半壁江山。针对将不锈钢带加工成柔性衬底的技术难题就是钢带材料表面粗糙度较高,况且又是针对大尺寸超薄柔性钢带,其加工难度更加提高。目前,具有全局性平整能力的超精密加工方法也只有化学机械抛光(CMP)技术。化学机械抛光技术作为常见超精密加工方法之一,主要用于金属材料、硬脆材料以及其他材料的表面超光滑无损伤加工。同时,化学机械抛光加工技术也是现阶段被公认的能够实现工件被加工...
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