关键词：高纯过氧化氢水；应用规范；材质要求；检查方法；容器
摘 要：高纯度过氧化氢水溶液是电子工业中一种十分重要的化学品，随着SEMI标准级别的提高，要求过氧化氢水溶液中的杂质含量呈数量级降低。因此，高纯度过氧化氢水溶液的制备和管理成为提高电子工业产品质量的关键因素。用于贮存和运输高纯度过氧化氢水溶液的容器和设备的材质要求没有离子型杂质溶出和微粒异物产生，国外通常使用高性能的氟树脂或者具育特定要求的聚烯烃树脂。而我国在这些领域的研究开发尚十分落后。据预测，“十二五”期间，我国屯子专用超净高纯化学品需求量将超过1万t，这一火热的市场空间为发展我国超高纯过氧化氢提供了良好的机遇。因此，当前大力开发包括高纯过氧化氢用容器设备在内的高端技术，具有重要的战略意义。